朗姆研讨公司获得含具有用于设定和调整静电卡盘中电极参数的阻抗的调谐电路的 RF 调谐体系专利

  金融界 2025 年 1 月 15 日音讯，国家知识产权局信息数据显现，朗姆研讨公司获得一项名为“含具有用于设定和调整静电卡盘中电极参数的阻抗的调谐电路的 RF 调谐体系”的专利，授权公告号 CN 112753089 B，请求日期为 2019 年 7 月。

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